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產品詳情
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  • 產品名稱:派瑞林真空氣相沉積

  • 產品型號:TN--VPC-300
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
派瑞林真空氣相沉積(PECVD)是一種常用的薄膜沉積技術,用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環境中使用氣相化學反應來沉積薄膜的過程
詳情介紹:

派瑞林真空氣相沉積(PECVD)是一種常用的薄膜沉積技術,用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環境中使用氣相化學反應來沉積薄膜的過程。在派瑞林真空氣相沉積中,首先需要建立一個真空環境,以確保沉積過程中沒有氣體干擾。然后,通過將氣體引入反應室中,使其與表面反應并沉積形成薄膜。

派瑞林真空氣相沉積可以用于制備各種不同類型的薄膜,如氮化硅、氧化硅、氮化鋁等。它在半導體、光電子、顯示器件等領域有廣泛的應用,可以用于制備薄膜電阻器、光學涂層、隔熱層等。

派瑞林真空氣相沉積具有一些優點,如沉積速度快、沉積均勻性好、可控性強等。然而,它也存在一些限制,如無法沉積大面積薄膜、需要高真空環境等。

總的來說,派瑞林真空氣相沉積是一種重要的薄膜制備技術,可以在各種應用中提供高質量的薄膜材料。

派瑞林真空氣相沉積設備參數:

設備名稱

派瑞林真空氣相沉積設備

產品型號

CY-VPC-300

工作環境

電源:380V    五線 4 平方以上電纜,*大功率 l0KW

環境溫度:0-40

環境濕度:<90%

尺寸

外觀尺寸 1580*880*1550mm,占地面積約 1.5 平米, 安裝時周圍要留有50cm 以上的操作空間

加熱部分

升華區

原料倉:φ69*200mm          容量:300g

蒸發溫度:室溫 200

溫度偏差:±2

裂解區

裂解溫度:650-700 溫度穩定性: ±2

保溫區

加熱溫度<300

控制系統

品牌

PLC 控制系統

程序

為自動沉積系統和手動沉積系統兩部分

顯示

顯示屏尺寸:12 寸觸摸彩屏

沉積系統

真空應體

1 個,尺寸φ300xH400  ,  304 不銹鋼

腔體容積

28L

觀察窗

1 個觀察窗口,便于觀察產品在沉積室的狀態

旋轉部分

馬達轉速可調 1-10 轉/分

真空系統

真空泵

真空計

制冷系統

天寒TH-95-15-G(鍋式),制冷溫度90℃制冷啟動后30分鐘內可從室溫到-70

偶聯劑蒸發裝置

提高派瑞林涂層與需要做涂層基材表面的結合力

設備主要部件

1、蒸發系統: 蒸發艙、電力n熱裝置、溫度傳感器

2、裂解系統:裂解艙 、電力日熱裝置、溫度傳感器

3、沉積系統:沉積艙 、真空傳感器 、樣品架

4、真空系統: 真空泵、真空計

5、冷凝系統:鍋式冷阱

6、設備主機:設備外殼、控制電路、真空管道

7、石英管:   1

可沉積原料類型

Parylene CNFD

設備特點

1、氣化加熱可移動,適合連續生產,如出現突然停電等意外情況可以隨時移掉加熱,保證產品**.

2、氣化部分部分為透明玻璃管,可以隨時查看料的情況,并可以保持低溫生產,滿足高要求鍍膜.

3、氣化可以移動,是派坷**設置,可以保證無**沖突,生產**。

4、腔體內部轉架特殊設計可以有效減少壞點的數量.

5、可視化、人性化界面,操作簡單易懂.

6、玻璃管,可以大大降低升溫降溫時間.

7、保溫部分做優化,使得派瑞林不易在玻璃管內壁沉積,可以長期不用保養,減少保養時間

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