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○ 產品介紹
TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。
○ 技術參數
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結構特點 |
? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度 ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精準的調控 |
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工作電源 |
? AC208-220V，50/60Hz ? 總功率：4KW |
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單溫區管式爐 |
? 較高溫度：1100oC(< 2h) 連續工作溫度：1000℃ ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統 ? 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW ? 加熱區長度：200mm，恒溫區：100mm ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管 |
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等離子射頻電源 |
? 輸出功率：0-150W可調（穩定性：±1%） ? 射頻頻率：13.56MHz(穩定性：±0.005%) ? 較大反射功率：150W ? 匹配：自動匹配 ? 射頻輸出端口：50Ω、N型 ? 噪音：＜50dB ? 冷卻: 空氣冷卻 ? 電源: 220VAC, 50/60Hz |
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石英管 |
? 高純石英管 ? 尺寸：φ50mm*1200mm L |
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密封法蘭 |
? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭） |
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真空泵（該部分為選配，單獨計費） |
? 雙級真空泵 ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 |
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3通道質子流量計控制系統（該部分為選配，單獨計費） |
? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精準控制（精準度：±0.02%） ? 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM ? 電壓：220V AC 50/60Hz ? 氣體進出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管 ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出 |
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尺寸和重量 |
? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H ? 凈重：90kg |
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質保期 |
? 一年質保期，終生維護（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外） |
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質量認證 |
? CE認證 |
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使用注意事項 |
? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥 ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ? 對于樣品加熱的實驗，使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生。 |
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