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產品詳情
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  • 產品名稱:等離子增強型CVD系統

  • 產品型號:TN-O1200-50IS-PECVD
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。
詳情介紹:

○ 產品介紹

TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。


○ 技術參數

結構特點

? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度

  ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精準的調控 

工作電源

 ? AC208-220V,50/60Hz

? 總功率:4KW

溫區管式

 ? 較高溫度:1100oC(< 2h) 連續工作溫度:1000℃

 ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統 

? 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW

? 加熱區長度:200mm溫區:100mm 

? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 

等離子射頻電源

? 輸出功率:0-150W可調(穩定性:±1%

? 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%)

? 較大反射功率:150W

 ? 匹配:自動匹配

? 射頻輸出端口:50ΩN

? 噪音:<50dB

? 冷卻: 空氣冷卻

? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

? 高純石英管

? 尺寸:φ50mm*1200mm L 

密封法蘭  

? 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)

真空泵(該部分為選配,單獨計費)

? 雙級真空泵 

? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

3通道質子流量計控制系統(該部分為選配,單獨計費)

? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精準控制(精準度:±0.02% 

? 流量范圍: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

? 電壓:220V AC 50/60Hz

? 氣體進出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

尺寸和重量

 ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

 ? 凈重:90kg  

質保期

? 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)

質量認證

 ? CE認證 

使用注意事項

? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 

? 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 

? 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 

? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 ? 石英管的長時間使用溫度<1100℃

 ? 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生 


○ 免責聲明

本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。泰諾公司產品在不斷更新,網站內容可能由于更新不及時,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。


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