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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:TN-O1200-60-4CLV-PE
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
等離子體增強型化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜生長的一種制備技術(shù)。我公司綜合了多項實驗要求設(shè)計生產(chǎn)了四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng),能廣泛適應(yīng)各類薄膜研究的需要比如:石墨烯制備、C納米材料制備、氧化物制備。四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng)一款****的薄膜制備器材
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

等離子體增強型化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜生長的一種制備技術(shù)。我公司綜合了多項實驗要求設(shè)計生產(chǎn)了四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng),能廣泛適應(yīng)各類薄膜研究的需要比如:石墨烯制備、C納米材料制備、氧化物制備。是一款****的薄膜制備器材


○ 適用范圍

能廣泛適應(yīng)各類薄膜研究的需要比如:石墨烯制備、C納米材料制備、氧化物制備。是一款****的薄膜制備器材


○ 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點

與普通的CVD系統(tǒng)相比,因為有等離子源的介入,系統(tǒng)的沉積溫度相對較低。配備有滑軌式管式爐可以輕松實現(xiàn)快速降溫,實現(xiàn)快速退火。操控界面可配備液晶操作系統(tǒng),圖文顯示,直觀易懂,對于設(shè)備的使用操作簡單易學該系統(tǒng)較高工作溫度接近1150℃,能滿足大多數(shù)熱處理場合。該設(shè)備可具體用于:碳、ZnO納米管或納米線的制備也可以用于制備單層石墨烯以及各種CVD實驗。

等離子發(fā)生器

輸出功率:5~500W±1%.射頻頻率:13.56 MHz±0.005%.反射功率:較大約200W阻抗匹配:自動

真空泵機組

雙極旋片泵,極限真空0.1PaKFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連.管內(nèi)真空可達1Pa可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5至1125 Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(需要另外計算費用

質(zhì)量流量計

三通道的質(zhì)量流量計(精度0.02%):數(shù)字顯示,自動控制.MFC 1范圍:0~100 sccmMFC 2和3:0~500 sccm一個混氣罐,底部裝有泄廢液口.進氣接口:1/4NPS.出氣接口:1/4NPS.

水冷系統(tǒng)

水冷法蘭要求:水流量>=10L/M,配有專業(yè)水冷機組。

管式爐

爐管直徑:80mm爐管長度:1400mm爐膛長度:440mm控溫精度:±1℃工作溫度:≦1200℃



○免責聲明

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時,或許導致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。


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