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產品詳情
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  • 產品名稱:三溫區CVD氣相沉積系統

  • 產品型號:
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
詳情介紹:

○ 產品介紹

該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


○ 適用范圍

主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


○ 產品特點

1、造型優美 做工精細;
2、測溫精準 控溫穩定;
3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃;
4、產品豐富 有多種型號供您選擇。


○ 技術參數

加熱溫度

三溫區 獨立控溫

密封方式

水冷式真空法蘭

溫區長度

L:190mm;M:250mm;R:190mm;

真空系統

防返油式雙極旋片泵

工作溫度

L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;

系統真空

5~10Pa(如需更高真空度可選配其它泵)

加熱爐管

高純剛玉外徑60mm,長度1300mm

制冷方式

9L水冷機

氣體通道

三通道質量流量計

控溫系統

多段可編程智能控溫,控溫精度±1℃

氣體量程

A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM

供電電源

AC:220V 50Hz

真空檢測

進口數字真空計 

備   注

如有其它要求 可按要求定制


○ 免責聲明

本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。泰諾公司產品在不斷更新,網站內容可能由于更新不及時,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。

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