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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:TN-O1200-80MPECVD-3Z
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該套CVD系統(tǒng)主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發(fā)生器四大部分構(gòu)成。可以滿足日常的大多數(shù)CVD實驗和各種科研要求。該CVD系統(tǒng)是材料制備過程中的理想之選。
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**次操作,該系統(tǒng)也能順利引導您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作,您根本無需專業(yè)學習,為您節(jié)省大量的科研時間,真正做到事倍功半!


○ 適用范圍

可以滿足日常的大多數(shù)CVD實驗和各種科研要求。是材料制備過程中的理想之選。


○ 產(chǎn)品特點

1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面

2、系統(tǒng)高度集成:各個部分均由軟件協(xié)同進行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出

3、可使實驗步驟程序化、自動化


○ 技術(shù)參數(shù)

工作電壓:AC220/AC110V   

工作頻率:50Hz/60hz

工作溫度:25℃~1100


測量精度:0.1

控溫精度:±1℃

加熱區(qū)長:400mm

恒溫區(qū)長:200mm

射頻頻率:13.56MHz

射頻功率:0500W(可調(diào)節(jié))

匹配模式:自動匹配

氣體通道:3通道

氣體測量:質(zhì)量流量計

量程范圍:0~500SCCM

真空設(shè)備:分子泵組

真空測量:復合真空計



○ 免責聲明

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時,或許導致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。
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