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產品詳情
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  • 產品名稱:雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統

  • 產品型號:
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾,雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,爐體在支架上能夠前后滑動,可以實現快速升降溫
詳情介紹:

雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統

1.本產品主體結構是雙溫區滑道旋轉管式爐,爐管中部有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,

2.通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;

3.爐體在支架上能夠前后滑動,可以實現快速升降溫。

4.設備配有兩路浮子流量計,可用于向路管內通入兩種氣體,

5.同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。

6.旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

技術參數

雙溫區管式爐

產品型號

TN-O1200-60IIT-R

設備功率

3KW

爐管材質

高純石英

爐管直徑

60mm

爐管長度

1600mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

200mm+200mm

工作溫度

0~1150℃

極限溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:110V 50/60Hz  2.5kW

滑軌長度

2030mm,可滑動范圍1500mm

旋轉速度

0~20rpm

2路浮子流量計

產品型號

CY-2F

氣路數量

2路

流量計類型

浮子流量計

測量范圍

A路:0~160mL/min; B路:0~100mL/min

測量精度

4%

管道耐壓

不銹鋼管,耐壓3MPa

流量計耐壓

1標準大氣壓

管路接口

φ8mm快擰接口

真空系統

真空泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

抽氣接口

KF16

泵極限真空度

10E-1Pa

供電

AC110V 50/60Hz

 

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