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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區(qū)管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管,確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性,
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置
本設備為基于CVD原理設計的晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區(qū)管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組。該設備通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管,確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實驗的不二之選

○ 技術參數(shù)    

爐管材質 高純石英
爐管規(guī)格

外部大石英管  φ120mm x1000mm

內部小石英管  φ25mm x820mm x7根

加熱溫區(qū) 三溫區(qū) 200mm+200mm+200mm
控溫

三溫區(qū)獨立控溫,每個溫區(qū)均可設置30段時間溫度曲線

精度 ±1℃

工作溫度
0~1150℃ 
升溫速率
≤10℃/min
進氣系統(tǒng)

三路質量流量計 Ar氣 0~500sccm,N2氣 0~200sccm,H2氣 0~200sccm

配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。

爐管法蘭
不銹鋼水冷法蘭,配有KF16真空接口,機械式真空計及不銹鋼針閥
供電要求
AC 220V 50Hz  4kW
控制方式
7英寸觸控屏
真空泵
雙極旋片真空泵
真空
理論極限真空度10^-1Pa

○ 免責聲明

本站產(chǎn)品介紹內容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內容可能由于更新不及時,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。

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