產(chǎn)品名稱：卷對(duì)卷式PECVD

卷對(duì)卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長(zhǎng)。

設(shè)備含卷對(duì)卷收放卷運(yùn)動(dòng)模塊、1200℃雙溫區(qū)可開(kāi)啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分，整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速?gòu)?/span>1~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣，從而保證了實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性

卷對(duì)卷式PECVD技術(shù)參數(shù)：

1200℃ 雙溫區(qū)管式爐	供電電壓	AC220V，50Hz
	*大功率	3KW
	加熱溫區(qū)	雙溫區(qū) 200mm+200mm
	工作溫度	≤1200℃
	控溫精度	±1℃
	控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲(chǔ)多條
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管尺寸	φ80mm I.D x 1400mm L
	密封方式	不銹鋼真空法蘭
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	工作氣體	氫氣、氮?dú)狻鍤狻⒀鯕獾确歉g性氣體
	真空泵	雙極旋片式真空泵
	極限真空度	10^-1Pa
三路質(zhì)量流量計(jì)	閥門(mén)類型	不銹鋼針閥
	氣路數(shù)量	三路
	承壓范圍	0.05~0.3MPa
	量程	1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4)
	流量控制范圍	±1.5%
	混氣罐容積	750mL
	氣路材料	304不銹鋼
	管道接口	6.35mm卡套接頭
	供電電源	AC220V 50Hz
S射頻電源	輸出功率	500W
	輸出精度	±1%
	射頻頻率	13.56MHz
	射頻穩(wěn)定度	±0.005%
	冷卻方式	風(fēng)冷