產品名稱：卷對卷式PECVD

卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續生長。

設備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統以及三路質子流量計供氣系統五部分，整套體系可在真空/氣氛保護環境下工作。收放卷機構轉速從1~400mm/min可調,機構采用反饋調節，可自動糾正轉速偏差，保證樣品的速度穩定不走樣，從而保證了實驗的準確性

卷對卷式PECVD技術參數：

1200℃ 雙溫區管式爐	供電電壓	AC220V，50Hz
	*大功率	3KW
	加熱溫區	雙溫區 200mm+200mm
	工作溫度	≤1200℃
	控溫精度	±1℃
	控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
	爐管材質	高純石英
	爐管尺寸	φ80mm I.D x 1400mm L
	密封方式	不銹鋼真空法蘭
	真空測量	電阻規
	工作氣體	氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體
	真空泵	雙極旋片式真空泵
	極限真空度	10^-1Pa
三路質量流量計	閥門類型	不銹鋼針閥
	氣路數量	三路
	承壓范圍	0.05~0.3MPa
	量程	1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4)
	流量控制范圍	±1.5%
	混氣罐容積	750mL
	氣路材料	304不銹鋼
	管道接口	6.35mm卡套接頭
	供電電源	AC220V 50Hz
S射頻電源	輸出功率	500W
	輸出精度	±1%
	射頻頻率	13.56MHz
	射頻穩定度	±0.005%
	冷卻方式	風冷