產品名稱：三溫區CVD氣相沉積系統

○ 產品介紹

該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。

○ 適用范圍

主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。

○ 產品特點

1、造型優美 做工精細；
2、測溫精準 控溫穩定；
3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃；
4、產品豐富 有多種型號供您選擇。

○ 技術參數

加熱溫度	三溫區 獨立控溫	密封方式	水冷式真空法蘭
溫區長度	L:190mm;M:250mm;R:190mm;	真空系統	防返油式雙極旋片泵
工作溫度	L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;	系統真空	5～10Pa（如需更高真空度可選配其它泵）
加熱爐管	高純剛玉外徑60mm，長度1300mm	制冷方式	9L水冷機
氣體通道	三通道質量流量計	控溫系統	多段可編程智能控溫，控溫精度±1℃
氣體量程	A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM	供電電源	AC:220V 50Hz
真空檢測	進口數字真空計	備   注	如有其它要求 可按要求定制

○ 免責聲明

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