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產品詳情
  • 產品名稱:桌面型單靶直流磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:TN-MSZ194-I-DC-SS
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
單靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備
詳情介紹:

單靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。

本套配置采用高真空不銹鋼腔體,腔體設置帶擋板的石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄;腔體設計真空性能優良,造型小巧,十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。

直流磁控濺射鍍膜儀

磁控濺射鍍膜儀技術參數:

產品名稱

桌面型不銹鋼腔體單靶直流磁控濺射鍍膜儀

產品型號

TN-MSZ194-I-DC-SS

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

≦500℃

可調轉速

≦20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ194mm X 263mm

觀察窗口

φ50mm

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

上蓋開啟式            

真空系統

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速60L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數量

直流電源一套

輸出功率

直流電源500W

其他參數

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

重量

80kg

整機尺寸

550mm X 450mm X750mm

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