0371-5536 5392 0371-5519 9322
本設(shè)備為傾斜樣品臺式單靶磁控鍍膜儀，樣品臺與靶面的角度可調(diào)，可用于制作特定生長角度的薄膜。設(shè)備外形為桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個直流電源，可用于金屬及其他導電材料的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組，抽氣速度快，極限真空度高，真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗。
傾斜樣品臺式單靶磁控技術(shù)參數(shù)：
|
CY-MSP180G-AR（adjustable Angel rotate） 傾斜樣品臺式單靶磁控 |
||||
|
樣品臺 |
尺寸 |
φ60mm |
轉(zhuǎn)速 |
轉(zhuǎn)速0-20rpm可調(diào) |
|
磁控濺射靶 |
數(shù)量 |
2” x1 |
|
|
|
真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ180mm X 150mm |
觀察窗口 |
全向可視 |
|
腔體材料 |
高純石英 |
開啟方式 |
頂蓋拆卸式 |
|
|
下法蘭 |
含有樣品臺傾斜機構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機構(gòu) |
|||
|
真空系統(tǒng) |
機械泵 |
雙級旋片泵 |
抽氣接口 |
KF16 |
|
分子泵 |
渦輪分子泵 |
抽氣接口 |
KF40 |
|
|
真空測量 |
電阻規(guī)+電離規(guī) |
排氣接口 |
KF40 |
|
|
極限真空 |
1.0E-3Pa |
供電電源 |
AC 220V 50/60Hz |
|
|
抽氣速率 |
前級泵 1.1L/s 分子泵：60L/S |
|||
|
電源配置 |
數(shù)量 |
直流電源 x1 |
*大輸出功率 |
直流電源300W |
|
其他 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
整機尺寸 |
500mm X 320mm X6200mm |
|
整機功率 |
2kW |
|
|
|
