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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSP180G-1T-B
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設(shè)備同時配有偏壓電源,可以用來進行進行濺射前的等離子清洗和濺射過程中施加偏壓
詳情介紹:

本設(shè)備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設(shè)備同時配有偏壓電源,可以用來進行進行濺射前的等離子清洗和濺射過程中施加偏壓。

本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實驗的觀察記錄,腔體設(shè)計開啟方便,易于清理,十分適合實驗室使用。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品 臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機采用模塊化設(shè)計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。

桌面型單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-MSP180G-1T-B Bias偏壓)

安裝條件

1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

2、設(shè)備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

3、額定功率:1500w;

4、設(shè)備用氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純度 ≥99.99%;

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×850mm,承重 50kg 以上;

6、擺放位置要求通風散熱良好。

技術(shù)參數(shù)

1、 濺射電源:直流電源300W;*大輸出電壓600V,極限輸出電流500mA

2、 偏壓電源:輸出電壓<1000V,類型:高頻脈沖直流電源

3、 磁控靶:2英寸平衡靶,配磁耦合擋板;

4、 磁控靶適用靶材: φ50mm x 3mm厚

5、 腔體尺寸:外徑φ194mm ,內(nèi)徑186mm x 高230mm;

6、 腔體材質(zhì): 304不銹鋼

7、 旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺:轉(zhuǎn)速1~20rpm  連續(xù)可調(diào);加熱溫度*高500℃,升溫速度推薦10/min,*高20/min

8、 冷卻方式:磁控靶及分子泵需要循環(huán)水冷機;

9、 水冷機:水箱容積9L,流速10L/min

10、 供氣系統(tǒng):質(zhì)量流量計, 氣體類型Ar氣,流量1~30sccm(可定制);

11、 流量計精度:±1.5%量程

12、 真空腔體抽氣接口為 KF40;

13、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭;

14、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

15、 可調(diào)節(jié)濺射電流,可設(shè)置濺射**電流值、**真空值;

16、 **保護:過流、真空過低自動切斷濺射電流;

17、 極限真空:5E-4Pa(搭配分子泵);

18、 真空測量為電阻規(guī)真空計,其量程為:1~105Pa

注意事項

1、磁控濺射工作真空較高,一般在2Pa之內(nèi),需要配分子泵使用。

2、為了達到較高的無氧環(huán)境,至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。

3、磁控濺射對進氣量比較敏感,需要使用質(zhì)量流量計控制進氣量

可選配件

膜厚監(jiān)測儀

1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應(yīng)力,溫度和密度

3、測量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置測量范圍:500000?(鋁)

4、標準傳感器晶體:6MHz

5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

其他配件

1、CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復(fù)合真空計,測量范圍10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60系列小型分子泵組(含復(fù)合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

VRD-4雙極旋片真空泵

2、KF40真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF40卡箍支架

3、膜厚儀晶振片;



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