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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSP180G-DC
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)
詳情介紹:

本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)

單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

桌面型單靶磁控鍍膜儀

樣品臺(tái)

尺寸

φ100mm

加熱

*高500

轉(zhuǎn)速

0-20可調(diào)

磁控濺射靶

數(shù)量

2” x1

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

分子泵

渦輪分子泵

真空測(cè)量

電阻規(guī)+電離規(guī)

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

機(jī)械泵1.1L/s  分子泵600L/s

電源配置

數(shù)量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源150W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm



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