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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)金剛石涂層設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號:TN-HFCVD
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
熱絲化學(xué)氣相沉積(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)擁有工藝成熟,設(shè)備簡單等諸多優(yōu)點(diǎn),是工業(yè)上應(yīng)用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設(shè)計用于合成納米金剛石涂層,CVD金剛石薄膜,微晶CVD金剛石涂層,石墨烯,碳納米管(CNTs)和各種其他薄膜涂層
詳情介紹:
熱絲化學(xué)氣相沉積(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)擁有工藝成熟,設(shè)備簡單等諸多優(yōu)點(diǎn),是工業(yè)上應(yīng)用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設(shè)計用于合成納米金剛石涂層,CVD金剛石薄膜,微晶CVD金剛石涂層,石墨烯,碳納米管(CNTs)和各種其他薄膜涂層。金剛石作為所有已知材料中*硬的物質(zhì),還有用高熱導(dǎo)率,高彈性模量,良好的耐磨性,耐腐蝕性,較低的摩擦系數(shù)和化學(xué)穩(wěn)定性,是切削的優(yōu)良材料。本設(shè)備包括反應(yīng)腔室、支撐系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)以及自動化控制系統(tǒng)等。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,布局合理,經(jīng)由多年設(shè)備研發(fā)的工程師團(tuán)隊,反復(fù)推敲,多次實驗,結(jié)合計算機(jī)輔助設(shè)計系統(tǒng)無數(shù)次校核、驗證。使設(shè)備具有優(yōu)良的沉積性能及可靠的**性。本產(chǎn)品具有節(jié)能,可靠,方便,智能化為一體的優(yōu)良設(shè)備。


熱絲化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品特點(diǎn):

本產(chǎn)品為雙層不銹鋼腔體式結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)緊湊合理;
本產(chǎn)品分上臺架和下臺架兩大部分,下臺架除了用于支撐反應(yīng)腔室,還布置氣路閥門,水路管道以及各種控制元件。上臺架布置顯示面板,電源器件,合理屏蔽電路干擾;
本產(chǎn)品**分散冷卻水道布局(腔體上蓋,腔體主體上下層和底板,以及熱絲彈力裝置等地方)。水泵,水管,智能監(jiān)控流量計,水路歧管等,均為封閉式循環(huán)系統(tǒng)。
本產(chǎn)品氣路組合主要由工藝氣體供給系統(tǒng)以及真空系統(tǒng),氣路管道的合理分布,有效利用可使用的空間,氣體流量,壓力的實時監(jiān)測及**控制。
本產(chǎn)品選用雙基片式真空泵,抽氣速度穩(wěn)定在65m3/h.極限優(yōu)良真空全壓為0.5Pa,防護(hù)的等級為IP54.

熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)指標(biāo)與特性:

真空腔室

結(jié)構(gòu):圓筒形+上蓋

材質(zhì):304上等不銹鋼

腔體尺寸:Φ640x320mm

電源:

AC220V /三相380V 30KW

控溫

低壓和大電流直流電源,熱絲溫度*高可達(dá)2500°C  

沉積基體表面:600℃左右

腔體壁溫度: <60

控溫精度:0.1 

測溫系統(tǒng)

遠(yuǎn)紅外光學(xué)測溫+熱電偶監(jiān)測

熱絲裝置:

恒定張力陣列幾何形狀,鉬絲,銅饋通,鎢絲結(jié)合處理,方便調(diào)整與維護(hù)

觀察窗

主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm

水路系統(tǒng)

水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件

總水管接口尺寸 40mm

冷卻水流量:60L/MIN

真空系統(tǒng)

雙級旋片泵+高真空閥門組合(**閥,流量感應(yīng)器,調(diào)節(jié)閥……) ,數(shù)顯復(fù)合真空計,

*大抽氣速度:65 m3/h

設(shè)備保壓:停泵 12 小時候后,真空≤10Pa

抽氣接口 CF40    排氣接口KF16

操作系統(tǒng):

PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動控制系統(tǒng);

**系統(tǒng)

報警及保護(hù):對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施;完善 的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng);

占地尺寸

(主機(jī))L1800×W1150×H1550(mm)。

整機(jī)重量

600kg


 
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