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CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統，主要用于多層氧化物薄膜，是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積，實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置。
磁控濺射鍍膜儀技術參數：
輸入功率
·單相110V
AC,50/60Hz
·1000W（含真空泵和冷水機）
磁控濺射靶
·包括三個帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭，通過快速夾具插入石英室
·射頻電纜更換可在CYKY購買
·法蘭上內置一個手動百葉窗
·包括一臺10L/min數控循環冷水機，用于冷卻濺射頭
濺射靶材
·靶材尺寸要求：2" 直徑 x 1/8" *大厚度
·濺射距離范圍：50-80mm可調
·濺射角度范圍：0-25°可調
·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測試
·可根據要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材，但需額外付費
·對于目標鍵合，包括 1 mm 和 2 mm 銅背板。
真空腔體
·真空腔體：300 毫米外徑 x 500 毫米高，由不銹鋼制成
·密封法蘭：直徑274毫米。由鋁制成，帶有高溫硅膠O型圈
·包括不銹鋼屏蔽籠，100% 屏蔽來自腔室的射頻輻射
·*大真空度：1.0E-5
Torr，可選配渦輪泵和腔體烘烤
樣品臺
·樣品臺是一個可旋轉的加熱臺，由陶瓷加熱器制成，帶有不銹鋼蓋
·樣品臺尺寸：直徑50毫米，適合*大 2" 晶圓
·轉速：1-10轉可調，涂層均勻
·支架溫度可從室溫調節至*高 600 °C（600 °C 時*高 5 分鐘；500 °C 時*高 2 小時），通過數字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C
真空泵
·內置KF40真空接口，用于連接真空泵。
·真空度：1.0E-2
Torr 含雙級機械泵
1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵
整機尺寸
540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H
包裝重量
大約 145 kg
保修單
一年有限保修，終身支持
是否支持定制
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輸入功率 |
·單相110V AC,50/60Hz ·1000W（含真空泵和冷水機） |
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磁控濺射靶 |
·包括三個帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭，通過快速夾具插入石英室 ·射頻電纜更換可在CYKY購買 ·法蘭上內置一個手動百葉窗 ·包括一臺10L/min數控循環冷水機，用于冷卻濺射頭 |
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濺射靶材 |
·靶材尺寸要求：2" 直徑 x 1/8" *大厚度 ·濺射距離范圍：50-80mm可調 ·濺射角度范圍：0-25°可調 ·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測試 ·可根據要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材，但需額外付費 ·對于目標鍵合，包括 1 mm 和 2 mm 銅背板。 |
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真空腔體 |
·真空腔體：300 毫米外徑 x 500 毫米高，由不銹鋼制成 ·密封法蘭：直徑274毫米。由鋁制成，帶有高溫硅膠O型圈 ·包括不銹鋼屏蔽籠，100% 屏蔽來自腔室的射頻輻射 ·*大真空度：1.0E-5 Torr，可選配渦輪泵和腔體烘烤 |
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樣品臺 |
·樣品臺是一個可旋轉的加熱臺，由陶瓷加熱器制成，帶有不銹鋼蓋 ·樣品臺尺寸：直徑50毫米，適合*大 2" 晶圓 ·轉速：1-10轉可調，涂層均勻 ·支架溫度可從室溫調節至*高 600 °C（600 °C 時*高 5 分鐘；500 °C 時*高 2 小時），通過數字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C |
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真空泵 |
·內置KF40真空接口，用于連接真空泵。 ·真空度：1.0E-2 Torr 含雙級機械泵 1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵 |
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整機尺寸 |
540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H |
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包裝重量 |
大約 145 kg |
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保修單 |
一年有限保修，終身支持 |
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是否支持定制 |
