產品名稱：高真空多弧離子鍍膜儀

CY- MIOP500 為高真空多弧離子鍍膜儀，利用電弧放電將導電材料離子化，利用其繞射性好的優(yōu)勢，產生高能離子并沉積在基底上（特別是泡沫鎳等多孔基底），制備納米級薄膜鍍層或納米顆粒。主要由鍍膜室、多弧靶、多弧電源、脈沖偏壓電源、樣品臺、加熱、真空系統、氣路系統、PLC+觸摸屏半自動控制系統等組成；該設備主機與控制一體化設計，操控方便；結構緊湊，占地面積小。該系列設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產品等，深受廣大用戶好評。

高真空多弧離子鍍膜儀主要用途: 

制備多元非晶合金,制備金屬化合物，如氧化物和氮化物薄膜（氧氣或氮氣氛圍）,制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應薄膜。

高真空多弧離子鍍膜儀主要技術參數：

1.真空腔室	Ф500×H420mm，304 上等不銹鋼，前開門結構； 腔室加熱溫度：室溫～350±1℃；
2.真空系統	復合分子泵+直聯旋片泵+高真空閥門組合的高真空系統，數顯復合真空計；
3.真空極限	優(yōu)于 6.0×10-5Pa（空載，經烘烤除氣后）；
4.漏率	設備升壓率≤0.8Pa/h； 設備保壓：停泵 12 小時候后，真空≤10Pa；
5.抽速	(空載）從大氣抽至 5.0×10-3Pa≤15min；
6.基片臺尺寸	Φ150mm，自轉工位 3 個；
7.基片臺旋轉	基片旋轉：0～20 轉/分鐘；
8.濺射靶	DN100 新型磁過濾多弧靶 2 套
9.脈沖偏壓電源	-1000V，1 套；
11.控制方式	PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統；
12.報警及保護	對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施；完善 的邏輯程序互鎖保護系統；
13.占地	(主機）L1900×W800×H1900(mm)。