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產品詳情
  • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)

  • 產品型號:TN-PSP180G-3TA
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。
詳情介紹:

TN-PSP180G-3TA三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,設計感強的優勢。三靶等離子濺射鍍膜儀等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,配備3個濺射靶頭,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產品名稱
三靶等離子濺射鍍膜儀-基礎版
產品型號
TN-PSP180G-3TA
主要特點
  • 自主研發、高性價比
  • 具有結構緊湊,簡單操作
  • 2英寸標準尺寸等離子濺射靶,
  • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
技術參數
  1. 1、樣品臺:尺寸φ100mm;到靶面距離:20-35mm 可調
  2. 2、直流濺射頭:數量2” ×3  
  3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空系統:雙極旋片真空泵 ;抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:10E-1Pa
        抽氣/排氣接口:KF16; 真空測量:電阻規;
  5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,max大濺射電流50mA
產品規格
尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

1.鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護性氣體,若客戶需要通入混合氣體,聯系工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

2.本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡單的優勢,若客戶有進一步提升真空度的需要,可以聯系技術人員選配分子泵組組成高真空系統。


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