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產品詳情
  • 產品名稱:雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)

  • 產品型號:TN-PSP180G-2TA
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用。雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)的濺射靶為2英寸的標準尺寸,標準配置2個濺射靶頭,以滿足客戶鍍不同膜的實驗需求。
詳情介紹:
TN-PSP180G-2TA 雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎版)我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,設計感強的優勢。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,標準配置2個濺射靶頭,以滿足客戶鍍不同膜的實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產品名稱
雙靶等離子濺射鍍膜儀-基礎版
產品型號
TN-PSP180G-2TA
主要特點
  • 自主研發、高性價比
  • 具有結構緊湊,簡單操作
  • 兩只2英寸標準尺寸等離子濺射靶,
  • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
技術參數
  1. 1、樣品臺:尺寸φ100mm;到靶面的距離20~35mm可調
  2. 2、直流濺射頭:數量2” ×2  
  3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空系統:雙極旋片真空泵 ;抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:≥0.1Pa
    抽氣/排氣接口:KF16; 真空測量:電阻規;
  5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;  max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產品規格
尺寸:500mm ×320mm × 470mm;重量:30kg;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

1.鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護性氣體,若客戶需要通入混合氣體,聯系工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

2.本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡單的優勢,若客戶有進一步提升真空度的需要,聯系技術人員選配分子泵組組成高真空系統。


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