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產品詳情
  • 產品名稱:超聲波輔助氣氛加熱勻膠機

  • 產品型號:TN-SPC-HUA6
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
超聲波輔助氣氛加熱勻膠機利用超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆,該超聲波輔助氣氛加熱勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等
詳情介紹:

TN-SPC-HUA6全自動超聲波輔助氣氛加熱勻膠機是一種小型、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件,可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內,在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。
此款勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠*大圓晶尺寸為6英寸,轉速可達10000rpm,加速度可達5000rpm;具有轉速穩定,啟動迅速,操作方便等優點,并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優良的產品。

名稱
全自動超聲波輔助氣氛加熱勻膠機
SPC-HUA6
特征
  1. 采用直流無刷電機,單片機控制
  2. 高清晰觸摸屏控制
  3. 可進行單步多步勻膠操作,可存儲五種程序,每種程序可設置五步操作
  4. 防堵膠設計
  5. 鋁合金腔體,堅固耐用
  6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進行多種輔助
勻膠機
  1. 圓晶尺寸 6英寸
  2. 旋轉速度 100~10000rpm可調
  3. 旋轉加速度 100~5000rpm/s可調
  4. 單次*長勻膠時間 3000s
  5. 勻膠腔體尺寸 Φ200mm* 90mm
  6. 電壓 220V 50Hz
  7. 功率 400W
  8. 加熱溫度 0-100℃
  9. 質保時間 易損件除外,1年,終身技術支持
超聲波系統
  1. 霧化頭材質 鈦合金
  2. 頻率 40kHz
  3. 功率 130W
  4. 流量 0.55mL/s
  5. 微粒直徑 25um
  6. 霧化頭類型 錐型
  7. 霧化頭重量 0.3kg
  8. 超聲波電源尺寸 315*312*135mm
  9. 超聲波電源重量 5kg
注射泵
  1. 流量范圍 0.001uL/min-43.349mL/min
  2. 掉電記憶工能 保存設置參數,重新上電后,無需設置
  3. 適用進樣器規格 10uL-1000uL
  4. 適用注射器規格 1mL-60mL
  5. 線速度范圍 5um/min-65um/min
  6. 線速度調節分辨率 5um/min
  7. *大行程 140mm
  8. 行程分辨率 0.156um
  9. 額定線性推力 >90N

  1. 控制氣體種類 2種
  2. 氣體流速 16-160mL/min

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