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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/精密勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN -AC200
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
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簡單介紹:
此款旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/勻膠機(jī)共有兩種型號(hào):TN-AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),TN-AC200-PE是升級(jí)型號(hào);TN-AC200旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,這是一種程控伺服型精密勻膠機(jī),可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/精密勻膠機(jī)共有兩種型號(hào):CY-AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),CY-AC200-PE是升級(jí)型號(hào);CY-AC200精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,這是一種程控伺服型精密勻膠機(jī),可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設(shè)備采用了不銹鋼外殼,更加耐久和美觀;采用了工業(yè)級(jí)別的200W的伺服電機(jī)系統(tǒng)和與track設(shè)備相同的設(shè)計(jì)和程序,使工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;CY-AC200在同類產(chǎn)品中較先達(dá)到5000RPM/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復(fù)性。


○ 產(chǎn)品特點(diǎn)

1:新穎的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸;
2:采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷;
3:采用“密閉碗”設(shè)計(jì),可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝;
4:標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm,可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制;
5:采用工業(yè)級(jí)的伺服電機(jī),電機(jī)獨(dú)特的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部;
6:機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗;
7:排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)的底部,利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性;
8:透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

○ 技術(shù)參數(shù)

1:主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔);
2:內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料(HDPE);
3:旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1秒;
4:旋涂速度:0-10000rpm;
5:旋涂加速度:0-50000rpm/s;
6:馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm(CY-AC200-SE);<±0.1rpm(CY-AC200-PE);
7:轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性:1rpm(CY-AC200-SE);0.1rpm(CY-AC200-PE);
8:CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能;
9:工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec;
10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圓晶);
11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米測量) 。


○ 免責(zé)聲明

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