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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:兩工位純凈型勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
兩工位凈化型勻膠機(jī)帶有100級(jí)空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵,防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染。兩工位凈化型勻膠機(jī)可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作
詳情介紹:

純凈型勻膠機(jī)有100級(jí)空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵,防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái),可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作。


凈化型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):


名稱
純凈型勻膠機(jī)
特點(diǎn)
  • 有100級(jí)空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵,防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染。
  • 設(shè)置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
  • 可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線,程序控制勻膠工藝
  • 7英寸液晶顯示屏,操作簡(jiǎn)單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)
技術(shù)參數(shù)
  • 勻膠時(shí)間:1-99秒 
  • 勻膠轉(zhuǎn)數(shù):0-8000轉(zhuǎn)/分 
  • 凈化效果:100級(jí)(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)) 
  • 操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流() 
  • 適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
  • 控制范圍和精度:轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3% 
  • 時(shí)間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
  • 轉(zhuǎn)速調(diào)整:采用PID調(diào)節(jié),精度高。 
  • 轉(zhuǎn)速查看智能化:可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān),自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上。可予先選定,也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速
規(guī)格
  • 外形尺寸:650x750x1620mm 
  • 外體顏色:亞白色 

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