產品名稱：單靶直流磁控濺射鍍膜儀

鍍膜儀具有一路高精度質量流量計，客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路，以滿足復雜的氣體環境構建需求；儀器標配先進的渦輪分子泵組，極限真空可達10E-5Pa，同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制，可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制，在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能，可以進一步提高您的實驗效率。

用途：用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備，特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。

名稱	TN-MSP300S-DC
型號	單靶直流磁控濺射鍍膜儀
特點	自主研發、高性價比 標準尺寸磁控濺射頭，1英寸2英寸3英寸可選 大功率直流電源，高能量金屬濺射鍍膜 兩路高精度質量流量計 渦輪分子泵組，極限真空可達10E-5Pa 一體機 電腦智能編程控制
參數	1、樣品臺：尺寸φ150mm；  加熱溫度 maxtemp：500℃；控溫精度：±1℃；轉速：1-20rpm可調 2、磁控濺射頭：2” ×1 （1”,2”,3”可選）10L/min流速的循環水冷  3、真空腔體：尺寸：φ300mm × 340mm 材料：不銹鋼、上頂開式， 觀察窗口：φ100mm 4、質量流量計：1路；量程1200SCCM（可根據客戶需要定制多路氣路） 5、真空系統：配有一套分子泵系統，抽速600L/S 6、真空測量：復合真空計 7、膜厚儀 石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ? 8、濺射電源：直流電源 ×1；max輸出功率500W~1500W 可選
規格	尺寸：1090mm × 900mm × 1250mm；重量：350kg ；電壓：AC220V,50Hz；功率：6KW

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