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單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比磁控濺射鍍膜設(shè)備，具有標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、可定制化的特點(diǎn)。磁控靶有1英寸2英寸3英寸可以選擇，客戶可以根據(jù)所鍍基板的大小自主選擇；所配電源為1500W大功率直流電源，可用于高能量的金屬濺射鍍膜，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來(lái)實(shí)現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。
鍍膜儀具有兩路高精度質(zhì)量流量計(jì)，客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計(jì)的氣路，以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求；儀器標(biāo)配先進(jìn)的渦輪分子泵組，極限真空可達(dá)1.0E-5Pa，同時(shí)另有其他類(lèi)型的分子泵可供選購(gòu)。分子泵的氣路由多個(gè)電磁閥控制，可以實(shí)現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開(kāi)腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機(jī)工控電腦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制，在電腦程序上可以實(shí)現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能，可以進(jìn)一步提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
單靶磁控濺射鍍膜儀適用范圍：
該設(shè)備可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類(lèi)設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。
單靶磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
單靶直流磁控濺射鍍膜儀
樣
品
臺(tái)
外形尺寸
φ185mm
加熱范圍
室溫～500℃
可調(diào)轉(zhuǎn)速
1-20rpm可調(diào)
磁
控
靶
槍
靶材平面
圓形平面靶
濺射真空
10Pa～0.2Pa
靶材直徑
50～50.8mm
靶材厚度
2～5mm
絕緣電壓
>2000V
電纜規(guī)格
SL-16
靶頭溫度
≦65℃
真
空
腔
體
內(nèi)壁處理
電解拋光
腔體尺寸
φ300mm × 300mm
腔體材料
304不銹鋼
觀察窗口
石英窗口，直徑φ100mm
開(kāi)啟方式
上頂開(kāi)啟，氣缸輔助支撐
氣
體
控
制
流量控制
質(zhì)量流量計(jì)，量程0～200SCCM氬氣
調(diào)節(jié)閥類(lèi)型
電磁調(diào)節(jié)閥
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)
常閉
測(cè)量線性度
±1.5%F.S
測(cè)量重復(fù)精度
±0.2%F.S
測(cè)量響應(yīng)時(shí)間
≤8秒（T95）
工作壓差范圍
0.3MPa
閥體耐壓
3MPa
工作環(huán)境溫度
（5～45）℃
閥體材料
不銹鋼316L
閥體漏率
1×10-8Pa.m3/s
管道接頭
1/4″卡套接頭
輸入輸出信號(hào)
0～5V
供電電源
±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
外形尺寸mm
130（寬）×102（高）×28（厚）
通訊接口
RS485 MODBUS協(xié)議
直流電源
電源功率
500W
輸出電壓
0～600V
定時(shí)長(zhǎng)度
65000秒
啟動(dòng)時(shí)間
1～10秒
膜
厚
測(cè)
量
電源要求
DC:5V（±10%） *大電流 400mA
分辨率
±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測(cè)量(鋁)
測(cè)量精度
±0.5%厚度+1計(jì)數(shù)
測(cè)量周期
100mS～1S/次（可設(shè)置）
測(cè)量范圍
500,000
? (鋁)
晶體頻率
6MHz
通訊接口
RS-232/485串行接口
顯示位數(shù)
8位LED顯示
分子泵
分子泵抽速
80L/S
額定轉(zhuǎn)速
65000rpm
振動(dòng)值
≦0.1um
啟動(dòng)時(shí)間
≦4.5min
停機(jī)時(shí)間
<7min
冷卻方式
風(fēng)冷
冷卻水溫度
≦37℃
冷卻水流速
1L/min
安裝方向
垂直±5°
抽氣接口
150CF
排氣接口
KF40
前級(jí)泵
抽氣速率
1.1L/S(VRD-4)
極限真空
5×10-2Pa
供電電源
AC:220V/50Hz
電機(jī)功率
400W
噪音
≦56db
抽氣接口
KF40
排氣接口
KF25
放氣閥
真空腔體上裝有氣動(dòng)電控放氣閥
整機(jī)極限真空
≦5×10-4Pa
真空腔體升壓率
≦2.5Pa/h
軟件系統(tǒng)
監(jiān)控管理軟件1套
測(cè)試靶材
直徑2英寸厚度3mm的銅靶材2個(gè)
