0371-5536 5392 0371-5519 9322
鍍膜儀具有一路高精度質量流量計，客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路，以滿足復雜的氣體環境構建需求；儀器標配先進的渦輪分子泵組，極限真空可達10E-5Pa，同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制，可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制，在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能，可以進一步提高您的實驗效率。
雙靶直流磁控濺射鍍膜儀用途：
該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該雙靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。
雙靶直流磁控濺射鍍膜儀技術參數：
|
雙靶直流磁控濺射鍍膜儀 |
||||
|
樣品臺 |
尺寸 |
φ150mm |
控溫精度 |
±1℃ |
|
加熱溫度 |
zui高500℃ |
轉速 |
1-20rpm可調 |
|
|
磁控濺射頭 |
數量 |
2” ×2 （1”,2”可選） |
水冷機規格 |
10L/min流速的循環水冷機 |
|
冷卻方式 |
水冷 |
|
|
|
|
真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ300mm × 340mm |
觀察窗口 |
φ100mm |
|
腔體材料 |
不銹鋼 |
開啟方式 |
上頂開式 |
|
|
質量流量計 |
1路；量程200sccm Ar（可根據客戶需要定制多路氣路） |
|||
|
真空系統 |
產品型號 |
TN-GZK103-A |
抽氣接口 |
KF40 |
|
分子泵 |
TN-600 |
排氣接口 |
KF16 |
|
|
前極泵 |
GHD-031B |
真空測量 |
復合真空計 |
|
|
極限真空 |
10E-5Pa |
供電電源 |
AC;220V 50/60Hz |
|
|
抽氣速率 |
分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達： 1.0E-3Pa |
|||
|
電源配置 |
數量 |
直流電源 ×2 |
zui大輸出功率 |
直流電源500W-1000W |
|
其他 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
整機尺寸 |
1090mm × 900mm × 1250mm |
|
整機功率 |
6KW |
整機重量 |
350kg |
|
○ 免責聲明
本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等），僅供參考。泰諾公司產品在不斷更新，網站內容可能由于更新不及時，或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，泰諾公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知。
