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產品詳情
  • 產品名稱:PLD脈沖激光濺射沉積設備

  • 產品型號:TN-PLD-450
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
該PLD脈沖激光濺射沉積設備系列設備主要用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料,尤其適用于生長高熔點、多元素及含有氣體元素的復雜層狀超晶格薄膜材料
詳情介紹:

雙室脈沖激光鍍膜機用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體及有機化合物薄膜材料,適合生長高熔點、多元素及含有氣體元素的復雜層狀超晶格薄膜材料,廣泛應用于大專院校薄膜材料研究及制作。

設備組成:

系統主要由濺射真空室、旋轉靶臺、抗氧化基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成.

實驗室脈沖激光沉積技術參數: 

產品名稱

PLD脈沖激光沉積蒸發鍍膜儀

產品型號

TN-PLD-450

主真空系統

球形結構,尺寸:直徑450mm

載樣系統

垂直圓柱形結構,尺寸:直徑150×150mm

真空系統配置

主真空室

機械泵、分子泵、閥門

裝載樣品系統

機械泵、分子泵(與主腔共用)、閥門

極限壓力

主真空系統

6*10-6Pa(烘烤、脫氣后)

裝載樣品系統

6*10-3 Pa(烘烤、脫氣后)

真空回收系統

主真空系統

20分鐘可達5x10-3Pa(系統短暫暴露于大氣中,充入干燥氮氣即可開始抽氣)

裝載樣品系統

20分鐘可達5x10-3Pa(系統短暫暴露于大氣中,充入干燥氮氣即可開始抽氣)

旋轉靶臺

靶材*大尺寸約60 or 25mm;可一次安裝4塊靶材,可實現公轉換靶; 每塊靶材可自轉,轉速5~60/

基片加熱臺

樣品尺寸

?. 51

運動方式

基片可連續回轉,轉速5~60/

加熱溫度

基片加熱*高溫度800C±1  C,可控可調

氣路系統

1 回路質量流量控制器,1 回路充氣閥

可選配件

激光裝置

兼容相干201激光

激光束掃描裝置

2D掃描機械平臺,進行二自由度掃描。

計算機控制系統

控制內容包括普通轉換靶、靶旋轉、樣品旋轉、樣品溫度控制、激光束掃描等。

設備占地面積

主機

1800 * 1800mm2

電控柜

700 *700mm2(one)

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