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產品詳情
  • 產品名稱:碳鍍鎢蒸等離子濺射復合鍍膜儀

  • 產品型號:TN-PEC250G-HV
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
碳鍍鎢蒸等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鍍鎢蒸等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
詳情介紹:

○ 產品介紹

TN-PEC250G-HV碳鍍鎢蒸等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

○ 適用范圍

實驗室鍍膜使用。

○ 技術參數

真空腔體
 高純石英,狀,φ250x340mm
蒸發腔體 
 高純石英罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
等離子濺射腔體
 高純石英罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


 等離子濺射套件 

 濺射電壓 1600V

*大電流 50mA
靶面尺寸 2英寸
工作真空 10Pa~20Pa
工作氣氛 需通入高純氬氣

 熱蒸發鍍膜套件

 蒸發源數量 2個

*大電流 100A
工作真空 10^-3Pa
工作氣氛 不通入任何氣體
樣品臺 直徑φ60mm,可旋轉


 碳蒸發套件

 蒸發方式 碳棒蒸發

*大電流 160A
工作真空 10^-3Pa
工作氣氛 不通入任何氣體
真空系統
 產品型號 TN-GZK103-A
分子泵 渦輪分子泵
前極泵 雙極旋片泵
抽氣速率 分子泵:600L/S 綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
旋片泵:1.1L/S
極限真空 5×10E-4Pa
抽氣接口 KF40
排氣接口 KF16
真空測量 復合真空計
進氣系統
 配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
供電要求
 AC 220V 50Hz

○免責聲明

本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。泰諾公司產品在不斷更新,網站內容可能由于更新不及時,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。

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