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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:TN-EVS180G-LV
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀不但可用等離子濺射方式鍍金屬膜,也可用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。該等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀體積小巧,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構(gòu)。
詳情介紹:

TN-EVS180G-LV 等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高集成化,在同一個腔體內(nèi)即實現(xiàn)了兩種鍍膜功能;該小型二合一鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環(huán)境。本小型二合一鍍膜儀體積小能夠置于試驗臺上使用,一機多用性價比突出,非常適合各大高校及研究機構(gòu)選用。


產(chǎn)品名稱
等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀
產(chǎn)品型號
TN-EVS180G-LV
主要特點

  • 等離子濺射和蒸發(fā)二合一,一機多用,性價比突出
  • 高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見
  • 采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。
  • 儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度
技術(shù)參數(shù)
  • 樣品臺:直徑80mm, 至蒸發(fā)源距離 20mm~50mm 可調(diào)
  • 濺射頭:直流、尺寸:2inch *1
  • 濺射電源:直流電源 150W max.
  • 蒸發(fā)系統(tǒng):鎢絲藍、 max1700℃、S型熱電偶
  • 真空腔體:直徑180mm*150mm、高純石英、頂蓋拆卸式 全向透明
  • 真空系統(tǒng):機械泵(旋片泵:1.1 L/S)、極限真空:1.0E-1Pa、電阻規(guī)測量、KF16 抽氣排氣接口供電電源:AC;220V 50/60Hz
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:360mm*300mm*470mm、 重量:約20kg、功率1.5KW


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