產品名稱：5L等離子清洗機電容耦合

等離子清洗機(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機 電容耦特點：

腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。

5L等離子清洗機電容耦合技術參數：

主要部件	指標名稱	參數指標
清洗倉體	清洗倉材質	SS304
	清洗倉尺寸	200x160x240mm
耦合方式	電容耦合
射 頻 電 源	電源特性	該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。
	電源優勢	●可長時間正常運行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發熱少 ● 具有完善的反射功率保護功能
	射頻功率	0~300W連續可調
	信號頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強制風冷
氣 體 測 量	測量部件	兩路質量流量計 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數參考之前的產品
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真 空 獲 取	真空測量	數字真空計（電阻規）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機轉速	50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
	抽氣速率	50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機噪音	≤56dB
	管道接口	進氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	KF16球閥
	電機功率	400W
其 它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機功率	800W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機尺寸	600mmX650mmX560mm
	整機重量	80kg（含包裝）