0371-5536 5392 0371-5519 9322
這款等離子清洗機適合于實驗室和小型生產。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。
10L等離子清洗機技術參數：
主要部件
指標名稱
參數指標
清洗倉體
清洗倉材質
高純石英
清洗倉尺寸
直徑200mm;長度340mm
射
頻
電
源
電源特性
該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。
電源優勢
● 可長時間正常運行
● 電源效率高、發熱少
射頻功率
0~100W連續可調/0~150W連續可調
信號頻率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤100W
功率穩定度
±0.1%
射頻接頭
N型頭
整機效率
≥75%
諧波分量
≤-50 dBc
冷卻方式
強制風冷
氣
體
測
量
測量部件
浮子流量計
氣體通道
兩通道
A通道量程
10～100ml
B通道量程
16～160ml
真
空
獲
取
真空測量
數字真空計（電阻規）
真空抽取
雙極旋片泵
電機轉速
50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
抽氣速率
50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。
真空量程
0.1Pa～10000Pa
極限真空
0.5Pa
電機噪音
≤56dB
管道接口
進氣口：KF16;排氣口KF16.
連接管道
KF16真空波紋管
真空閥門
電磁閥
電機功率
400W
其
它
供電電源
AC220V 50/60Hz
整機功率
550W/600W
使用溫度
-10℃ -- 40℃
工作真空
≤40Pa
整機尺寸
600mmX500mmX560mm
整機重量
80kg（含包裝）
● 操作簡單靈活
● 具有完善的反射功率保護功能
10L等離子清洗機應用范圍：
金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產：用于紡織品,濾網和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫療：培養皿提高活性，血管支架，注射器，導管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進可焊性；
半導體行業：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預處理；
LED：支架清洗封裝前預處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
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