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本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀，設備安裝有鎢絲籃蒸發源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境；同時設備采用高罐體及電動升降樣品臺的設計，能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求；升降機構采用焊接波紋管密封，在保證密封性的情況下實現了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉均可通過屏幕控制，操作簡單直觀，十分適合實驗室使用。
小型蒸發鍍膜儀技術參數：
產品名稱
桌面型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀
產品型號
CY-EVP195S-1S-LT（T高罐體tall；L升降 lift）
安裝條件
1、使用環境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；
2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；
3、額定功率：1200w；
4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純
度 ≥99.99%；
5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；
6、擺放位置要求通風。
技術參數
1、 蒸發源數量：1個，配擋板；
2、 蒸發源電壓：10V
3、 蒸發電流 0～100A 連續可調
4、 配 1個鎢舟、1個鎢絲籃；
5、 不銹鋼電動升降樣品臺,直徑為70mm，旋轉速度1~20rpm連續可調；
6、 樣品與蒸發源的距離為 190~300mm連續可調，真空狀態下也可升降調節
；
7、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm，內徑為185mm，高度為350mm；
8、 上蓋采用ISO法蘭密封，便于拆卸檢查；腔體設有前開門，并配有φ60mm的帶擋板石英觀察窗；
9、 真空腔體抽氣接口為 KF40；
10、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量；
11、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；
12、 可調節蒸發電流，可設置蒸發**電流值、**真空值；
13、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發電流；
14、 極限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；
15、 真空測量為電阻規真空計，其量程為：1～105Pa
注意事項
1、為充分發揮腔體的真空性能，建議搭配分子泵組使用。
可選配件
厚監測儀
1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）
2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，
材料應力，溫度和密度
3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）
4、標準傳感器晶體：6MHz
5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35
其他配件
1、 鎢舟、鎢絲籃；
2、 有機蒸發源（含石英舟和鎢絲發熱源）；
3、 蒸發源數量可選1~2組；
4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍
10-5Pa~105Pa）；
CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）
VRD-4雙極旋片真空泵；
5、 CW3000循環水冷機（風冷，流量10L/min）
6、 KF40真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架
7、 膜厚儀晶振片；
