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○ 產(chǎn)品介紹
TN-PEC250G-HV碳鍍鎢蒸等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。通過(guò)更換功能套件，設(shè)備可以在多種功能間快速切換，非常適合實(shí)驗(yàn)室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機(jī)械泵和分子泵，能夠滿足多種真空度要求，尤其能夠?qū)崿F(xiàn)高真空，能夠有效提高鍍膜質(zhì)量。
○ 適用范圍
實(shí)驗(yàn)室鍍膜使用。
○ 技術(shù)參數(shù)
等離子濺射套件
濺射電壓 1600V
熱蒸發(fā)鍍膜套件
蒸發(fā)源數(shù)量 2個(gè)
碳蒸發(fā)套件
蒸發(fā)方式 碳棒蒸發(fā)
真空腔體
高純石英，鐘罩狀，φ250x340mm
蒸發(fā)腔體
高純石英，鍍罩狀，帶側(cè)面開(kāi)孔，尺寸φ88x150mm
等離子濺射腔體
高純石英，鍍罩狀，帶側(cè)面開(kāi)孔，尺寸φ88x150mm
靶面尺寸 2英寸
工作真空 10Pa~20Pa
工作氣氛 需通入高純氬氣
工作真空 10^-3Pa
工作氣氛 不通入任何氣體
樣品臺(tái) 直徑φ60mm，可旋轉(zhuǎn)
工作真空 10^-3Pa
工作氣氛 不通入任何氣體
真空系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) TN-GZK103-A
分子泵 渦輪分子泵
前極泵 雙極旋片泵
抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa
旋片泵：1.1L/S
極限真空 5×10E-4Pa
抽氣接口 KF40
排氣接口 KF16
真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì)
進(jìn)氣系統(tǒng)
配有手動(dòng)微調(diào)閥，接口為1/4英寸卡套接頭
供電要求
AC 220V 50Hz
○免責(zé)聲明
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