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三靶磁控濺射的技術原理

日期:2025-07-10 03:07
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摘要:
 
      三靶磁控濺射是一種常用的表面涂裝技術,主要用于制造工業中的各種設備和部件。該技術具有高效、節能、環保的特點,因而受到青睞。本文將詳細介紹三靶磁控濺射的原理、應用和優點。
      三靶磁控濺射技術是一種高能低溫的表面涂裝技術,它能在金屬表面形成致密、均勻的薄膜。該技術的原理是加熱金屬靶材,使其表面產生電子濺射,同時在真空條件下,在靶材附近沉積工件表面。
      磁控電子槍是三靶磁控濺射技術的核心,它能發射高能電子束,利用磁場將其聚焦在靶材表面。電子束會在靶材表面產生電子濺射,從而擊出靶材表面的原子或分子。這些原子或分子以高速飛出,并沉積在工件表面形成薄膜。

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